近日,ASML宣布将在年底前向中国客户交付部分先进的芯片制造设备。

据美国媒体报道称,ASML已经获得荷兰官方的允许,在今年年底前向中国客户出口其部分先进工具。

ASML表示将于年底前交付高端DUV光刻机

按照ASML的说法,在2023年的剩余时间里,ASML将能继续出货其NXT:2000i和更先进的DUV型号的产品,这些产品从9月1日起就受到限制。

至于2024年是不是可以继续,ASML则表示暂时不能确定。

据ASML官网提供的信息,该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款,分别是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML官网上关于这一台TWINSCAN NXT:1980Di的介绍,其中在分辨率方面,写到是大于等于38nm(可以支持到7nm左右),而这是指一次曝光的分辨率,事实上光刻机是可以进行多次曝光的。